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在之前的博客中，描述了掃描電鏡（SEM）自動化分析是如何節省研究人員和操作員的寶貴時間。掃描電鏡的操作者使用電鏡的目的各不相同。這篇博客詳細描述了掃描電鏡（SEM）在自動化的激光損傷閾值測試（LIDT）中的應用。

掃描電鏡（SEM）：自動化的激光損傷閾值測試

較強的激光會破壞光學器件，如鏡面，光學涂層或纖維。為了選擇合適的光學器件， 發現多大能量的激光會損害一個組件，或者*地改變其光學特性是十分重要的。

圖一：光學涂層被激光損傷后的掃描電鏡背散射（BSD）圖片

為了確定準確的激光能量影響大小，需要進行激光損傷閾值測試。柵格圖樣中的光學器件暴露在具有不同強度和波長的激光中。在接觸激光后，使用不同類型的光學顯微鏡和掃描電鏡檢查這些光學器件的損傷程度。網格包含數百個不同的點，每個點都必須檢測。人工手動測試將需要消耗大量的時間。

如何自動獲取每個點的圖像

使用飛納掃描電鏡的可編程接口，創建一個腳本以自動獲取每個點的圖像。該腳本通過由激光創建的坐標列表來工作。然后，在兩個特定坐標點上校準載物臺，zui后，腳本將在特定的放大倍數中對每個點進行圖像采集。

圖2：LIDT掃描腳本的用戶界面：小紅點和綠點代表了光學涂層暴露在激光下。

所有的圖像都存儲在選定的文件夾中供用戶檢查。如果某個特定點需要進一步檢查，那么，在用戶界面上單擊它就可以很容易地找到并進行分析。自動化操作為用戶節省大量的圖像采集時間。如今，用戶只需要點擊圖像，檢查是否存在損傷即可。